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借助F54-XYT-300薄膜厚度測(cè)量?jī)x的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測(cè)量200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供快速的厚度測(cè)量，達(dá)到每秒兩點(diǎn)。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測(cè)量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的不受限制的測(cè)量點(diǎn)數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用。

型號(hào)：F54-XYT-300

更新日期：2024-07-24

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借助F54-XY-200薄膜厚度測(cè)量?jī)x光譜反射系統(tǒng)，可以輕松地測(cè)量尺寸達(dá)200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供厚度測(cè)量，達(dá)到每秒兩點(diǎn)。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測(cè)量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測(cè)量點(diǎn)數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用。

型號(hào)：F54-XY-200

更新日期：2024-07-24

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HORIBA 一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀是新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

型號(hào)：Auto SE

更新日期：2023-08-22

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HORIBA 智能型多功能橢偏儀，多功能性設(shè)計(jì)，配置靈活，具備多角度測(cè)量能力，可方便實(shí)現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對(duì)單層和多層薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)單，快速，表征和分析的工具。

型號(hào)：Smart SE

更新日期：2023-06-06

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HORIBA 研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀是一種無(wú)損無(wú)接觸的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，基于測(cè)量線偏振光經(jīng)過(guò)薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過(guò)模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測(cè)厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測(cè)試材料的反射率及透過(guò)率。

型號(hào)：UVISEL Plus

更新日期：2023-06-06

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-Filmetrics光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x：F32的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3U rack-mount底盤(pán)，加上附加的分光計(jì)，可達(dá)到四個(gè)不同的位置（EXR和UVX版本多兩個(gè)位置）。F32軟件可以通過(guò)數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來(lái)控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。Filmetrics還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

型號(hào)：F32

更新日期：2024-07-24

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Film Sense FS-1™多波長(zhǎng)橢偏儀采用壽命長(zhǎng) LED 光源和非移動(dòng) 式部件橢偏探測(cè)器，可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測(cè)量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡(jiǎn)單的 1 秒測(cè)量，就 可以獲得非常精密和的數(shù)據(jù)。

型號(hào)：Film Sense FS-1

更新日期：2023-07-24

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-Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測(cè)繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)，以及升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。

型號(hào)：F60

更新日期：2023-06-05

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