光學(xué)輪廓儀的十一個操作步驟說明
2020-01-15
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光學(xué)輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
光學(xué)輪廓儀是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
光學(xué)輪廓儀操作步驟：
1. 將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定；
2. 將夾具放置在載物臺上；
3. 檢查電機連接和環(huán)境噪聲，確認儀器狀態(tài)；
4. 使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；
5. 完成掃描設(shè)置和命名等操作；
6. 開始測量（進入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會）；
7. 進入數(shù)據(jù)處理界面，“去除外形”，采用默認參數(shù)，應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓；
8. 進入分析工具模塊，參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，右側(cè)參數(shù)標準可更換參數(shù)標準，增刪參數(shù)類型；
9. 如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；
10. 進入數(shù)據(jù)處理界面，“提取剖面”圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提??；
11. 進入分析工具界面，“參數(shù)分析”圖標，右側(cè)參數(shù)標準，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
